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膜圖案的形成方法、薄膜制造裝置、導電膜布線

783   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:22
一種膜圖案的形成方法,將由含有導電性微粒的液體所構成的液滴噴到襯底上的規定膜形成區域中,形成膜圖案,其特征在于:具有在噴出液滴之前在襯底上進行表面處理的表面處理工序,通過表面處理工序,設定對襯底上液體的接觸角。接觸角特別設定為15度以上45度以下。通過該結構,可提供一種在通過噴墨法形成的膜圖案中可以抑制斷線或短路等缺陷發生的膜圖案的形成方法及形成裝置和導電膜布線等。
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