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e形多電子束蒸鍍裝置及電子槍電路

1135   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:22
本發明提供一種e形多電子束蒸鍍裝置，該蒸鍍設備包括永久磁鐵N極、S極、X/Y掃描線圈、坩堝、冷卻水及電子束發射器；采用磁偏轉式電子束，使得電子束路徑呈現e字型，偏轉角為270度，其中電子束發射器的由燈絲陰極、陽極、偏轉線圈等其他部件構成。從多電子束與旋轉坩堝兩方面應對電子槍故障問題。e形多電子束蒸鍍設計大幅度提高了蒸鍍效率和熔點，此外，為了提高蒸鍍過程薄膜沉積速率精度和穩定性，本發明專利從熱電子發射模塊、高壓電子加速模塊和電子束偏轉模塊三個方面設計了新的電子槍電路。
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