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多孔氧化鋁膜層及其制備方法

1189   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:22
本發明公開了一種多孔氧化鋁膜層及其制備方法。該多孔氧化鋁膜層的孔徑范圍為5?100nm，厚度為5?100μm。其制備方法包括以下步驟：(1)采用物理氣相沉積方法在多孔金屬基材表面沉積鋁膜；(2)對鋁膜進行氣氛退火處理；(3)對退火后的鋁膜進行表面清洗和電化學拋光；(4)利用陽極氧化法對鋁膜進行處理，獲得多孔氧化鋁膜。采用本發明的方法制備的多孔氧化鋁膜層具有膜層孔徑可控的特點，膜層內具有規則有序分布的垂直納米通孔。
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“多孔氧化鋁膜層及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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