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梯形陣列式壓力傳感器的制備方法

1025   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:21
本發明涉及一種梯形陣列式壓力傳感器的制備方法，包括以下步驟：S1)利用金屬材料制備梯形長條狀的金屬模板；S2)、利用電泳技術將導電增強材料均勻分布到金屬模板上；S3)、在金屬模板上均勻涂覆一層厚度為50?500微米的PDMS薄膜層；S4)、脫模，將導電增強材料轉移到具有梯形長條狀陣列結構的PDMS薄膜層上；S5)、利用氧化銦錫(ITO)在PDMS薄膜層外包覆一層導電層，然后再包覆一層PET層，然后封裝得到壓力傳感器。本發明制備工藝簡單，成本低廉，適合工業化生產；通過電泳吸附，利用電流的均勻分布，提高導電材料分布的均勻性；Ag納米線等導電增強材料附著在PDMS表面的微納結構，一旦微納結構發生變形，即可迅速產生響應，有利于提高器件的響應的靈敏度。
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