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能降低污染的InSb單晶生長熱場裝置及生長方法

1004   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:03
本發明涉及一種能降低污染的InSb單晶生長熱場裝置，包括單晶生長坩堝體和保溫模塊，單晶生長坩堝體包括石墨坩堝，石墨坩堝的內側和外側均固定安裝石英坩堝層，石英坩堝層將石墨坩堝密封包裹在其內部；保溫模塊包括石英密封罩體，石英密封罩體內部密封設置保溫碳氈；還包括惰性氣體輸送管，惰性氣體輸送管其出口位于單晶生長坩堝體的表面開口處，使得惰性氣體輸送管內的惰性氣體經加熱后吹散在液面和晶體表面，降低單晶生長坩堝體內的溫度梯度；本發明消除了污染源，提高了單晶生長環境的清潔度；特殊的氣體輸送管路能減少液面和晶體表面的溫度梯度，能生長出高質量低位錯密度的單晶。
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