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低介電常數α?Si3N4多孔陶瓷的制備方法

999   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:03
本發明公開了一種低介電常數α?Si3N4多孔陶瓷的制備方法，按照如下步驟進行：a、以稻殼為原料，制備得到碳硅質前驅體，再添加α?Si3N4粉體、燒結助劑，組成陶瓷原料；b、將凝膠物質和分散劑分散在去離子水中，與上述陶瓷原料混合，球磨4?8h后取出，真空除泡10?30min，形成漿料；然后水浴加熱至40?80℃，使漿料中的凝膠物質完全溶解，其中漿料的固相含量為35?60％；c、將上述料漿注入預熱的模具中，進行注凝成型，脫模干燥，得到坯體；最后燒結自然冷卻至室溫，即獲得低介電常數α?Si3N4多孔陶瓷。
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