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MEMS環行器的封裝方法

973   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:02
本發明提供了一種MEMS環行器的封裝方法，屬于環行器封裝技術領域，包括以下步驟：在晶圓的正面制備金屬電路層，在晶圓的背面制備金屬焊接層，獲得成一體結構的多個芯片單元；在晶圓的背面制備焊料層；在背面向上的晶圓上每個芯片單元對應的位置放置金屬載體，并將金屬載體和晶圓背面焊接為一體；在正面向上的晶圓上每個芯片單元對應的位置點膠，將永磁體貼裝在膠層表面，并將貼裝了永磁體的晶圓上的膠層進行固化；將焊接了金屬載體和貼裝了永磁體的晶圓進行切割，獲得獨立的MEMS環行器。本發明提供的一種MEMS環行器的封裝方法獲得的MEMS環行器精度高、體積小、一致性好，并能夠適用于批量封裝制造。
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聲明：
“MEMS環行器的封裝方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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