本發明揭示了一種鋁鈧靶材的制備方法,包括以下步驟:將鋁鈧合金塊粉碎、篩分后得到鋁鈧合金粉末;將所述鋁鈧合金粉末與鋁粉或鈧粉按照一定比例進行混合,進行均質處理后得到混合粉末;將所述混合粉末進行燒結后得到鋁鈧靶坯;將所述鋁鈧靶坯進行機加工得到鋁鈧靶材。本發明提供的一種鋁鈧靶材的制備方法,通過采用鋁鈧合金粉末與鋁粉或鈧粉進行混合,制備低鈧含量的鋁鈧靶材只需要添加鋁粉混合,制備高鈧含量的鋁鈧靶材只需要添加鈧粉混合,不需要經過繁瑣的熔煉過程,同時也能有效解決現有技術采用鈧粉和鋁粉混合后熱壓燒結,導致使用過多昂貴的金屬鈧粉而產生成分偏析、氧含量高和晶粒尺寸不均勻的技術問題。
聲明:
“鋁鈧靶材的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)