本發明公開了一種W-Ti合金靶材的制造方法,該方法以純度高于99.9%的W粉和純度高于96.7%的TiH2粉為原料,經過對TiH2粉末的高能球磨,隨后與W粉進行混粉;然后在壓力為250~280MPa,保壓時間為3~6min的條件下進行壓坯,再對壓胚進行真空無壓燒結,然后將燒結后的合金進行固溶退火,隨后淬火冷卻;最后將W-Ti合金機加工成靶材成品即可。本發明與現有技術相比,工藝方法上燒結溫度低,燒結過程中不附加任何壓力,且所制備的合金靶材合金組織均勻、致密度高、可控尺寸大。
聲明:
“W-Ti合金靶材的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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