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蒸發鍍膜材料NbO2及其制備方法

766   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:01:02
本發明涉及一種蒸發鍍膜材料NbO2，并提供了一種制備方法。蒸發鍍膜材料NbO2其主要成分為包括氧化鈮和三氧化二鋁的混合物，所述氧化鈮與三氧化二鋁混合物的比例為99％～90％∶1％～10％。所述混合物是將所述氧化鈮和所述三氧化二鋁以及還原劑按比例攪拌混合后經過真空熔煉而成。所述材料用于以真空蒸發鍍膜的方式制備Nb2O5薄膜。該薄膜用于光學濾光片/高反射薄膜的制備。本發明提供的制備方法，由于使用了C做還原劑，同時摻雜了Al2O3可以有效降低材料熔點，降低了生產成本。相對于使用傳統的Nb2O5鍍膜材料而言，使用本發明所述材料進行蒸發鍍膜制備Nb2O5薄膜時，可以有效的提高薄膜表面光潔度；對于提高薄膜產品的良品率有極大的幫助。
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