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高可靠抗輻照玻璃鈍化電壓調整二極管制造方法

1004   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:01:02
本發明提供的一種高可靠抗輻照玻璃鈍化電壓調整二極管制造方法，采用鉬或鎢作為電極引線，管芯采用鋁作為焊料，芯片采用深結擴散工藝，臺面造型為正斜角造型，該芯片結構降低表面電場，同時在進行玻璃鈍化封裝前，采用酸、堿腐蝕工藝及鈍化工藝對芯片臺面進行保護，然后采用特殊玻璃粉進行高溫鈍化封裝成型；本發明芯片成正斜角，降低了器件的表面電場，提高了芯片表面的穩定性；在芯片腐蝕過程中最大限度的清潔了芯片表面，減少了界面電荷的影響，使器件具有良好的雪崩擊穿性能，提升產品的可靠性；由于鈍化層較厚，同時具有一定的含鉛量使產品能在輻照條件下穩定工作。
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