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壓力傳感器及其封裝方法

997   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:01:02
本發明實施例提供一種壓力傳感器及其封裝方法，壓力傳感器包括：敏感芯片，包括薄壁部和與薄壁部外周相連接的支承部，支承部設置有電極；密封件，套接于敏感芯片，并且部分地與敏感芯片一起圍繞形成密封腔，密封件上對應于電極開設有通孔；導電構件，密封設置于通孔中，并與電極電連接，導電構件與密封件之間絕緣設置，其中導電構件包括填充部和埋設于填充部中的引出部。在本發明實施例中，通過導電構件與電極形成電連接，不采用引線，減小了壓力傳感器的封裝尺寸，并且實現了絕壓封裝。
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“壓力傳感器及其封裝方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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