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帶石墨烯層的半導體激光器熱沉及其制作方法

874   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:01:02
本發明涉及一種帶石墨烯層的半導體激光器熱沉，包括從下至上依次沉積的基體材料層、無氧銅層和石墨烯層，所述基體材料層采用的材料是氮化鋁陶瓷、氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷、氮化硅陶瓷、碳化硅或氮化硼中的任意一種。本發明還對應給出了制作所述熱沉的方法。本發明采用石墨烯層作為熱沉的散熱材料，充分利用石墨烯熱導率高的物理特性，將半導體激光器工作時產生的熱量傳導出來并發散掉，能夠在不增加半導體激光器重量、體積的情況下，大幅提高半導體激光器的散熱能力，降低半導體激光器工作時的溫度，保證半導體激光器的光電性能和可靠性，延長半導體激光器的壽命。
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