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氧化鈮旋轉靶材及其制備方法

776   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:01:01
本發明涉及一種氧化鈮旋轉靶材及其制備方法，其制備方法包括：氧化鈮噴涂粉的制備，噴涂基體的處理，噴涂打底層，用等離子噴涂工藝在基體管上噴涂氧化鈮噴涂粉。通過本發明方法制備的氧化鈮旋轉靶材結構致密、成分均勻，無裂紋，其噴涂長度和直徑不受限制，厚度可達到12mm；密度為4.6—5.2g/cm3，靶的成分為Nb2O4.3-4.9。本發明方法生產過程簡單便捷，成本較低。
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“氧化鈮旋轉靶材及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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