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立方相、巖鹽礦結構的Zn1-xMnxO晶體薄膜及其制備工藝

853   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:01:01
本發明的立方相、巖鹽礦結構Zn1－xMnxO薄膜及其制備工藝，屬于氧化物稀磁半導體薄膜的制備技術領域，其特征是采用電子束反應蒸發法，利用MnO的含量相對較高的(MnO)y(ZnO)1－y(y為摩爾比，y＝0.2～0.3)陶瓷靶作為蒸發源，以高純度的Ar/O2混合氣為反應氣體，在石英玻璃襯底上制備出Mn含量x(x為原子個數比)在0.6～1.0范圍、光學帶隙在4.5～5.7eV范圍內連續可調、厚度在200～1000nm范圍、具有立方相、巖鹽礦結構的Zn1－xMnxO薄膜。
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