本發明提供一種與鍺結合的空間用砷化鎵太陽電池電極制備方法,包括腐蝕以鍺為襯底的外延片,用真空法在外延片的非有源表面制備金接觸層和銀層,用電鍍法在銀層上制備銀加厚層,最后進行將制備好銀加厚層的外延片進行熱處理,得到與鍺結合的空間用砷化鎵太陽電池電極。本發明的有益效果是:該電極能夠采用真空法(真空蒸鍍法或磁控濺射法等)和非真空法(電鍍法等液相生長薄膜的方法)相結合進行制備,能提高材料利用率、降低生產成本、在不采購大型設備的前提下提高產能;能夠實現電極和襯底材料間形成歐姆接觸,并且接觸面間牢固度滿足空間使用要求;產品可靠性高。
聲明:
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