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高可靠玻璃鈍化微型表貼二極管的制造方法

1249   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:00:02
本發明提供的一種高可靠玻璃鈍化微型表貼二極管的制造方法，包括管芯的制備、電極焊接、處理封裝，芯片分離采用正吹砂切割方式形成正斜角，大大降低了器件的表面電場，提高了芯片表面的穩定性；在芯片腐蝕過程中采用酸腐蝕去除芯片臺面損傷層、腐蝕工藝去除粘附在芯片表面的重金屬離子、熱鈍化方式中和堿金屬離子并在芯片表面生長一層二氧化硅鈍化保護層的工藝，最大限度的清潔了芯片表面，減少了界面電荷的影響，使器件具有良好的反向性能，提升產品的可靠性；采用主要成分為氧化鋅、三氧化二硼、二氧化硅的鈍化玻璃粉經過高溫成型實現玻璃粉對芯片臺面的鈍化兼封裝作用，產品組件中的電極與芯片和玻璃鈍化層的熱膨脹系數相當，提高了產品的抗溫度沖擊能力；產品采用專用焊料將電極片和軸向產品進行燒結，實現了表貼封裝結構。
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