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鉻鋁硅鎳四元合金靶材及其制備方法

998   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:00:02
本發明提供了一種鉻鋁硅鎳四元合金靶材由以下成分構成：鉻30?95％鋁3?80at％，硅1?20at％，鎳1?20at％，本發明提供的一種鉻鋁硅鎳四元合金靶材的制備方法是先將鉻粉、鋁粉、硅粉及鎳粉按所述配比均勻混合，經冷等靜壓預壓制，然后將壓塊破碎、真空狀態下進行預合金化，裝套、脫氣、熱等靜壓燒結，最后將所制得的坯料進行機加工，得到鉻鋁硅鎳四元合金靶材。本發明提供的鉻鋁硅鎳四元合金靶材具有致密度高，無氣孔、無疏松及偏析，晶粒細小、組織均勻等優點，能夠適用于各種工模具所需的硬質涂層濺射使用。
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