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智能玻璃陰極電致變色層鍍膜材料的制備方法

880   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:00:02
本發明公開了一種智能玻璃陰極電致變色層鍍膜材料的制備方法，在制備智能玻璃陰極電致變色層氧化鎢鍍膜材料過程中，使用注漿成型的方式使各種氧化物充分混合均勻來提高靶材的致密度與均勻性來延長靶材使用壽命，并藉由添加第二種氧化物于氧化鎢中，提高氧化鎢材料的化學穩定性，并藉由燒結過程中的真空處理形成氧空缺使得材料具導電性有利于穩定濺鍍，并且采用階段升溫燒結的工藝及在氬氣中添加其他氣體，不僅可以提高成膜速率及降低表面粗糙度，提高濺鍍速率及降低薄膜粗糙度，提高設備的稼動率降低生產成本,大幅提高了氧化鎢薄膜在電致變色器件中的應用性，滿足了生產的要求,有利于市場的推廣及產品的普及。
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