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快速離化器件及其制備方法

845   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:00:01
本發明屬于脈沖功率半導體器件領域，更具體地，涉及一種快速離化器件及其制備方法。該快速離化器件包括依次相鄰設置的金屬化陰極、高摻雜n+區、陰極側高摻雜p+短路點、p基區、n?基區、n型促離化層、陽極側高摻雜n+短路點、高摻雜p+區、金屬化陽極。本發明通過在FID器件結構中引入較n?基區更高的摻雜濃度的n型促離化層，通過限制n?基區空間電荷區的擴展，進而限制了碰撞電離前沿需要穿越的區域寬度，減小了碰撞電離前沿穿越的范圍，減少了碰撞電離前沿傳播的時間，從而提高了器件的開通速度。
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