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吸氣劑微泵及其制備方法

829   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:00:01
本發明涉及一種吸氣劑微泵及其制備方法，屬于電真空元件制造技術領域。該吸氣劑微泵由熱子型吸氣劑、電極桿、T型玻璃管和圓形玻璃片等組成，熱子型吸氣劑由具有絕緣層的加熱絲及涂覆在加熱絲絕緣層上的吸氣材料構成，兩個電極桿分別連接在熱子型吸氣劑的加熱絲兩端，圓形玻璃片封蓋在T型玻璃管的一端，熱子型吸氣劑和部分電極桿真空密封在T型玻璃管中，兩個電極桿的一端通過圓形玻璃片上的兩個圓孔露出在T型玻璃管的外部。本發明還公開了該吸氣劑微泵的制備方法。本發明的吸氣劑微泵極大的提高了吸氣劑與玻璃真空腔室的兼容性，提高了吸氣劑的貯存壽命，具有安裝方便、激活使用方便、吸氣性能優良等特點。
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