本發明提供了一種用于裝飾鍍膜的碳化鎢靶材及其制備方法,所述制備方法包括以下步驟:(1)篩分純度≥99.98%的碳化鎢原料,得到碳化鎢粉末;(2)將步驟(1)所得碳化鎢粉末進行燒結溫度為1800?1900℃,壓制壓力為35?45MPa的真空熱壓燒結處理,得到碳化鎢靶坯;(3)將步驟(2)所得碳化鎢靶坯進行機加工,得到碳化鎢靶材;其中,步驟(2)所述真空熱壓燒結處理包括順次進行的保溫處理和保溫保壓處理,且所述保溫處理的升溫過程分為至少3個升溫階段。本發明提供的制備方法精簡了工藝流程的同時提升了碳化鎢靶材及鍍膜質量。
聲明:
“用于裝飾鍍膜的碳化鎢靶材及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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