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硒化銦靶材的制備模具及制備方法

1112   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:59:03
本發明涉及一種硒化銦靶材的制備模具，模具包括上方開口且中空的外模和上封蓋，外模形成一圓筒形的裝料空間，上封蓋包括與外模蓋合的蓋面和自蓋面向上凸伸的封蓋柄，封蓋柄上開設有真空抽氣孔，模具還包括墊設于外模內的若干石墨紙和支撐片。本發明同時提出一種硒化銦靶材的制備方法。該制備模具和制備方法采用熱等靜壓技術制備高密度、低電阻的硒化銦靶材，所制備得到的硒化銦靶材的密度達到99%以上、靶材1cm間的電阻值低于1200Ω/cm，所制備得到的硒化銦靶材適用于半導體鍍膜。
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