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低溫低成本高純碳化硅超細微粒的制備方法

869   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:59:03
本發明涉及半導體和太陽能硅材料技術領域，具體地說是一種低溫低成本高純碳化硅超細微粒的制備方法，選取切割廢料，通過抽真空，通入氬氣，保壓升溫，通入混合氣體，第二次保壓升溫，預處理，第三次保壓升溫，保溫抽真空，保壓降溫的手段，制備碳化硅粉體。本發明同現有技術相比，采用傳統工藝燒結制備高純碳化硅時，需要收集后進行二次煅燒和提純,尺寸不均勻、一致性較差，且成本較高。本發明為一步法實現全碳化的制備工藝，無需燒結后的分選、提純和二次回燒處理。本發明不需要除水過程，還可借助水合硅微?；蚝毟呒児栉⒘５氖杷山Y構優勢，實現低溫碳化工藝處理，大幅提高現有技術制備碳化硅微粒的效率和質量。
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