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快速更換真空腔體內消耗件的裝置與方法

1179   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:59:02
本發明提供一種快速更換真空腔體內消耗件的裝置與方法，將真空治具(2)與基座(1)密封連接，通過真空泵(3)對真空治具(2)抽真空，使用取物桿(22)將基座(1)的可取面外接件(13)及可取面(12)從其外圈平坦面(11)圍成的封閉空間內抽出，然后對真空治具(2)破真空，分離真空治具(2)與基座(1)，固定安裝新的消耗件(5)后，再密封連接真空治具(2)與基座(1)，對真空治具(2)抽真空，使用取物桿(22)將可取面外接件(13)及可取面(12)裝入所述外圈平坦面(11)圍成的封閉空間內，消耗件(5)被可取面(12)帶入真空腔體，更換消耗件的過程無需對真空腔體破真空，即能夠在短時間內更換真空腔體內的消耗件。
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