權利要求
1.尾氣等離子處理吸收設備，包括依次連接的等離子高溫反應裝置（1）、冷卻降溫裝置（2）和氮氧化物吸附裝置（3a），其特征在于：所述冷卻降溫裝置（2）包括外殼（21）和在所述外殼（21）內豎直設置的若干通氣列管（22），所述通氣列管（22）的內外側互不連通，所述通氣列管（22）的上口連通所述等離子高溫反應裝置（1）的內腔，所述通氣列管（22）的下口連通一個能從下部打開的灰塵清理腔（23），所述灰塵清理腔（23）的側壁連通所述氮氧化物吸附裝置（3a）的下部進口，所述外殼（21）上設有進水口（211）和出水口（212），所述進水口（211）和所述出水口（212）之間連接有冷卻水循環裝置（4）。2.根據權利要求1所述的尾氣等離子處理吸收設備，其特征在于：所述等離子高溫反應裝置（1）的頂部設有多個進氣管口（11）。 3.根據權利要求1所述的尾氣等離子處理吸收設備，其特征在于：所述等離子高溫反應裝置（1）的側壁具有隔熱層（12）。 4.根據權利要求1所述的尾氣等離子處理吸收設備，其特征在于：所述灰塵清理腔（23）的出口通過一個三通切換閥（5）同時連接兩個氮氧化物吸附裝置（3a、3b）。 5.根據權利要求4所述的尾氣等離子處理吸收設備，其特征在于：兩個所述氮氧化物吸附裝置（3a、3b）的上出口匯于同一個排氣口，所述排氣口上設置有氣體檢測裝置（6）。 6.根據權利要求1或4所述的尾氣等離子處理吸收設備，其特征在于：所述氮氧化物吸附裝置（3a）內設有濾網（31），所述濾網（31）將所述氮氧化物吸附裝置（3a）的內腔分隔為下部的緩沖腔（32）和上部的填料腔，所述填料腔內設置有吸附填料（33）。
說明書
尾氣等離子處理吸收設備
技術領域
本實用新型涉及尾氣處理設備技術領域，特別涉及一種尾氣等離子處理吸收設備。
背景技術
半導體、太陽能、液晶面板、LED等行業工廠在生產制造過程中會使用到很多種類的電子氣體，這些氣體中大多都是有毒有害的危險氣體。這些有毒有害的氣體在生產工藝過程中有些會被利用到，還有一些殘余的氣體需要排放。因這些氣體都是高危險氣體，有些具有腐蝕性，有些具有易燃易爆性等，故需要在車間內靠近主設備的地方做及時處理，以最大限度地降低生產安全風險。
現在常見的
聲明：
“尾氣等離子處理吸收設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
1828
編輯：中冶有色網
來源：星爍（蘇州）電子科技有限公司
分享 0
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
2025年07月09日 ~ 11日 
