提供無需解除下游側設備的真空就能夠更換靶材的離子源。靶材(13)配置在被排氣成真空的真空容器(10)內,且通過激光的照射產生離子。具有輸送管(17)、小孔(18)、中間電極(19)以及加速電極(20)的輸送部將由靶材產生的離子朝與離子源連接的下游側的設備輸送。在更換配置于真空容器(10)內的靶材時,真空密封用盤(24)對輸送部進行密封,以將真空容器(10)側與下游側的設備側的真空分離。
聲明:
“離子源” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)