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高真空機組

1048   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:59:02
本實用新型為高真空機組,涉及一種以油擴散泵為主泵的、使被抽空器件獲得高真空的設備,與有關附件構成可進行真空蒸鍍和濺射、真空熱處理、真空燒結和擴散,還可應用在實驗室及其它工業生產中。其特征是在高真空閥體上設有線圈,線圈內設有芯桿;手輪上設有銷孔,芯桿的一端插接在手輪的銷孔內;線圈通過導線與控制箱中的繼電器連接。預抽閥和前置閥的拉桿連在一起形成聯動的拉閥。在高真空閥體與拉閥的管路上設有電離真空規,在拉閥與放氣閥的管路上設有預抽熱偶真空規,在拉閥與真空缸的管路上設有前置熱偶真空規。本實用新型的目的在于解決被抽真空器件漏氣時機組不能工作,必須拆卸、進行清洗、更換擴散泵的工作介質等方面存在的問題。
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