本發明提供了一種氧化鋁靶材的制備方法,屬于靶材領域。本發明將靶材原料經混合球磨、噴霧干燥、壓制成素坯、冷等靜壓壓制、升溫脫脂燒結以及升溫有氧燒結后,先進行降溫有氧燒結,再進行升溫燒結,這樣得到的氧化鋁靶材密度更大,且無需進行真空燒結,對設備要求低,易于實現批量生產,并且能生產大尺寸平面靶材,如1m×1m的靶材,所得大尺寸平面靶材不易出現彎曲和開裂的問題。
聲明:
“氧化鋁靶材的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)