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高取向二氧化釩薄膜的液相制備方法

1193   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:59:02
本發明公開了一種高取向二氧化釩薄膜的液相制備方法，屬于化學功能材料領域。該制備方法以三異丙醇氧釩為溶質制備前驅液，將所得前驅液涂于藍寶石襯底制備前驅物薄膜，最后將前驅物薄膜置于真空環境中燒制而成。本發明在液相法的基礎上，通過控制真空燒結條件制備二氧化釩薄膜，所獲得的薄膜均具有良好的生長取向，相變溫度為60℃左右，相變前后電阻率的變化在三個量級以上；且制備工藝簡單，適合大范圍推廣。
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