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金屬釕的高標定率EBSD制樣方法

857   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 14:58:54
本發明涉及一種金屬釕的高標定率EBSD制樣方法,屬于EBSD樣品制備技術領域。本發明將真空燒結的金屬釕切割成金屬釕樣品;對金屬釕樣品的待EBSD分析表面或截面進行機械拋光,再采用乙醇對機械拋光面進行清洗;真空條件下,對金屬釕樣品的機械拋光面進行能量遞減的氬離子拋光處理,取出樣品即得金屬釕的高標定率EBSD樣品。本發明方法可以解決金屬釕耐蝕性極強不易電解拋光腐蝕的問題,又能有效地去除樣品表面因機械拋光所產生的表面應力層,以及消除高能量離子轟擊樣品表面產生的非晶層,有利于EBSD測試時獲得更強的花樣和較高的衍射花樣標定率,以便對金屬釕進行微觀組織與織構的研究;金屬釕樣品,標定率可達99%以上。
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