本發明涉及一種金屬釕的高標定率EBSD制樣方法,屬于EBSD樣品制備技術領域。本發明將真空燒結的金屬釕切割成金屬釕樣品;對金屬釕樣品的待EBSD分析表面或截面進行機械拋光,再采用乙醇對機械拋光面進行清洗;真空條件下,對金屬釕樣品的機械拋光面進行能量遞減的氬離子拋光處理,取出樣品即得金屬釕的高標定率EBSD樣品。本發明方法可以解決金屬釕耐蝕性極強不易電解拋光腐蝕的問題,又能有效地去除樣品表面因機械拋光所產生的表面應力層,以及消除高能量離子轟擊樣品表面產生的非晶層,有利于EBSD測試時獲得更強的花樣和較高的衍射花樣標定率,以便對金屬釕進行微觀組織與織構的研究;金屬釕樣品,標定率可達99%以上。
聲明:
“金屬釕的高標定率EBSD制樣方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)