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高致密度鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝

1200   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:58:54
本發明屬于高溫難熔金屬靶材制備領域，具體涉及一種高致密度鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝，該工藝包括如下步驟：原料混合；膠套裝粉作業；冷等靜壓作業，升壓至一定壓力后，保壓一段時間，然后泄壓，最后將壓制坯從膠套取出；真空燒結或氫氣保護燒結；熱等靜壓作業，對燒結坯直接進行熱等靜壓作業；熱軋作業，對鉬鈮合金進行金屬包套軋制，熱軋后退火去除應力；進行磨削等機加工作業，得到最終所需產品尺寸。該工藝步驟簡單，操作便捷，制備的鉬鈮合金濺射靶材純凈度、相對密度均滿足高端電子產品鍍膜領域使用需求，且生產成本低，產品尺寸寬泛，便于工業化批量生產。
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