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制備銅銦硒濺射靶材的工藝

826   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:58:54
本發明屬于光電材料新能源技術領域，特別涉及一種制備銅銦硒濺射靶材的工藝。通過制備或市場購買Cu2Se粉末和In2Se3粉末，混合后在行星式球磨機中球磨，而后冷壓成型，制得Cu2Se和In2Se3混合材料素坯，將此素坯置于密閉的真空燒結爐中，在H2保護氣氛中，燒結，冷卻后脫模，即得到銅銦硒靶材。所制得的靶材具有均一的銅銦硒相，相對密度達到95％以上。本發明具有工藝簡便，效率高，成本低，穩定性好等優點，為制備銅銦硒吸收層薄膜的制備工藝提供了便捷和穩定的保證。
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