本發明提供一種有超細晶組織的長壽命銅錳基合金靶材及其加工方法,有超細晶組織的長壽命銅錳基合金靶材的成分為銅、錳、鎳和鈷,具體加工方法為:將銅粉、錳粉、鎳粉和鈷粉混合均勻后,經冷等靜壓壓成塊狀,真空燒結熔煉,得到銅錳基合金鑄錠;將銅錳基合金鑄錠熱鍛開坯,進行60?90%冷軋變形,再在大氣或者真空條件下經過400?600℃再結晶熱處理,保溫2?3h,退火處理,得到原始坯料;對原始坯料使用攪拌摩擦焊加工進行晶粒細化,得到有超細晶組織的長壽命銅錳基合金靶材。本發明制備的有超細晶組織的長壽命銅錳基合金靶材中平均晶粒尺寸小于5μm,壽命不低于3000kwh,且制備方法簡單,成本低廉,適合大規模工業化生產。
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