本發明提供一種硫化鎘靶材制備方法,將硫化鎘粉體裝入模具中預壓成型,得到預壓后的硫化鎘粉體;將所述預壓后的硫化鎘粉體裝入熱壓燒結爐內,熱壓真空燒結,得到硫化鎘靶材。本發明硫化鎘靶材的制備,燒結與壓制是在同一臺設備,同一個工藝中同時進行的,中間環節和操作步驟少,對靶材和環境的污染??;使用高純硫化鎘粉體作為原料,不需要用到氯化鎘做助溶劑,靶材純度高。本發明還提供一種硫化鎘靶材制備裝置。
聲明:
“硫化鎘靶材制備方法及裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)