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高可靠性高壓功率半導體模塊芯片的制造工藝

838   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:58:53
本發明涉及一種高可靠性高壓功率半導體模塊芯片的制造工藝，整個制造工藝流程包括：磷擴散、硼擴散、蒸鍍鈦鎳銀合金、線切割、磨角、真空燒結、酸腐蝕、雙層膠體聯合保護、室溫硫化、高溫固化、檢測包裝。其中雙層膠體聯合保護如圖所示，是先將聚酰亞胺(PI)膠(圖中41)均勻涂敷于芯片臺面，形成致密保護層，再使用自主研發的自動涂膠工裝夾具，批量涂敷深藍色硅橡膠(圖中42)。本發明結合了GPP方片和OJ圓片兩種工藝的優點，對現有功率半導體模塊芯片的制造工藝進行改進，有效阻止電子遷移，減小芯片高常溫漏電流，致密結構極有利于后續的模塊封裝和儲存，有效提高產品的可靠性和良品率。
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“高可靠性高壓功率半導體模塊芯片的制造工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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