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濺射靶材用硅硼母合金及其制備方法

1142   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:58:53
本發明提供一種濺射靶材用硅硼母合金及其制備方法，硅硼母合金為采用高純硅粉和高純硼粉為原料，依次經高能球磨、造粒后采用粉末冶金壓制成形技術和真空燒結制備的所得產物。本發明制備的硅硼母合金中具有含硼量高、顆粒分布均勻、雜質含量低、粉末活性高、易于摻雜等特點，并且，摻雜該種硅硼母合金制備的多晶硅靶材，較制備的硅靶材具有產品出成率高，電阻率分布均勻等特點。
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