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硫化鎘陶瓷靶材的制備方法

774   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:58:02
本發明涉及功能材料技術領域，具體涉及一種硫化鎘陶瓷靶材的制備方法。硫化鎘陶瓷靶材的制備方法，第一步，原料配制：CdS粉末以及助熔劑；第二步，混合：先將CdC12溶于熱水后與PVA水溶液混合均勻，用小噴壺噴灑到CdS粉末中，并充分攪拌均勻；第三步，烘干：將混合好的原料放入干燥箱中烘干；第四步，過篩：將烘干后篩選出30目的粉料顆粒；第五步，困料：過篩后的粉料顆粒密閉困料，確保水分均勻；第六步，成型：將粉料裝入模具進行干壓成型；第七步，燒結：將壓好的樣品放入坩堝內進行燒結，采用真空燒結的方式，并真空隨爐冷卻至室溫，制成硫化鎘陶瓷靶材。通過本發明制備的靶材試樣能滿足磁控濺射鍍膜工藝對靶材的指標要求。
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