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高致密度鉬鉭合金濺射靶材的制備工藝

760   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:58:02
本發明提供一種高致密度鉬鉭合金濺射靶材的制備工藝，該工藝包括如下步驟：S1、鉭粉氫化處理；S2、原料混合；S3、膠套裝粉作業；S4、冷等靜壓作業：升壓至一定壓力后，保壓一段時間，然后泄壓，最后將壓制坯從膠套取出；S5、真空燒結；S6、熱軋作業：對鉬鉭合金進行金屬包套軋制，熱軋后退火去除應力；S7、進行磨削等機加工作業，得到最終所需產品尺寸。本發明的工藝步驟簡單，操作便捷，制備的鉬鉭合金濺射靶材純凈度、相對密度均滿足高端電子產品鍍膜領域使用需求，且生產成本低，產品尺寸寬泛，便于工業化批量生產。
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“高致密度鉬鉭合金濺射靶材的制備工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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