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磷摻雜多晶硅薄膜及其制備方法

1238   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:58:02
本發明提供了一種磷摻雜多晶硅薄膜及其制備方法，屬于功能材料領域。通過將多晶硅粉末與磷粉末按比例混合均勻，壓片、真空燒結制得硅靶材，將硅靶材和石英玻璃基片放入真空系統中，采用激光濺射沉積的方法制備出磷摻雜多晶硅薄膜。本發明獲得的磷摻雜多晶硅薄膜，其橫向應變系數絕對值的最大值可達24.3；橫向應變系數的非線性在1-2.5％之間，比現有的多晶硅薄膜降低了0.5％；采用本發明方法可以使多晶硅薄膜摻雜均勻、平整度高、致密性好且控制晶粒尺寸范圍為0.1μm～0.5μm；本發明制備方法簡單、成本低、可控性強，為多晶硅薄膜領域拓展了新思路。
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