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化學氣相共沉積與滲透尾氣處理裝置

1191   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:57:03
本實用新型屬于復合材料制造設備領域,涉及對化學氣相共沉積與滲透設備使用的尾氣處理裝置的改進。本實用新型的特征在于,通過管路依次將水冷過濾器、冷凍過濾器、復合過濾器、真空泵、堿液過濾器和放空燃燒結構串聯為四級尾氣處理裝置,本實用新型結構簡單;操作方便;尾氣處理能力強;可同時或單獨對化學氣相沉積與滲透工藝的尾氣煤焦油和氯化氫進行處理。
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