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化學氣相共沉積與滲透先驅體自動供給裝置

808   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:57:03
本實用新型屬于復合材料技術,涉及對化學氣相共沉積與滲透裝置使用的先驅體自動供給裝置的改進。它包括碳先驅體供給部分、惰性氣體供給部分、陶瓷先驅體自動供給部分和可編程序控制器4,其特征在于,有一個總先驅體混合罐15,它的內腔通過管路分別與陶瓷先驅體混合罐13和碳先驅體混合罐14的內腔連通,并且通過管路16與化學氣相共沉積與滲透裝置連接。本實用新型可以同時進行碳和陶瓷的沉積與滲透。
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“化學氣相共沉積與滲透先驅體自動供給裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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