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真空感應化學氣相沉積爐

799   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:57:02
本發明公開了一種真空感應化學氣相沉積爐，涉及化工設備技術領域，包括爐體、真空系統和充氣系統，所述爐體內設置有加熱室，所述加熱室外側設置有感應加熱裝置，所述加熱室內設置有沉積室，所述沉積室與所述充氣系統連通，所述加熱室與所述爐體之間為真空室，所述加熱室和所述真空室分別通過管路與所述真空系統連通。本發明將真空室和沉積室設置成兩個相互獨立的結構，真空室和沉積室不相通，沉積氣體僅通入沉積室，不僅減少了沉積氣體的浪費，還便于控制沉積室內沉積氣體的壓力和密度；真空系統分別對真空室和沉積室進行抽真空，沉積室內排出的污染性廢氣可以直接排出爐體之外，避免了對真空室的污染和損壞。
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聲明：
“真空感應化學氣相沉積爐” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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