本實用新型涉及高真空油擴散泵,具體地說是一種五級金屬直腔型高真空 油擴散泵。它包括泵體,設置在泵體內泵芯、油室和噴射嘴,位于泵體外面、 底部的加熱器;泵體為直容腔;泵芯包括一級導流管及其一級噴嘴、二級導流 管及其二級噴嘴、三級導流管及其三級噴嘴、四級導流管及其四級噴嘴,二級 導流管、三級導流管和四級導流管與油室連接,一級導流管裝在二級導流管的 上面;二級噴嘴、三級噴嘴和四級噴嘴的間隙為固定間隙。它結構簡單,制作 容易,顯著提高高真空油擴散泵的抽氣速率、拓寬抽氣范圍,氣密性高,焊接 變形小,提高工作效率;能獲得10-2~10-6Pa高真空和超高真空環境。廣泛用于 航空航天、原子能、真空冶金、熱處理、鍍膜、化工等領域。
聲明:
“五級金屬直腔型高真空油擴散泵” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)