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臥式碳化硅真空燒結爐

737   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:57:02
本實用新型公開了一種臥式碳化硅真空燒結爐，它包括水平設置在兩個底座上的外主爐體，設置在外主爐體內部的內爐體，以及通過連接件密封扣裝在外主爐體兩端端口處的密封門；所述外主爐體整體為夾套式結構，外主爐體的上、下兩側分別設置有進水口和出水口，在外主爐體后部以及前部中心位置分別設置有抽真空連接口和負壓真空表；在外主爐體底部均布設置有多根用于支撐連接內爐體的連通管；所述進水口連接有筒式過濾器，筒式過濾器通過管路與設置有循環水泵的水箱的出水口連接，出水口通過管路與水箱的回水口連接；所述抽真空連接口與抽真空泵連接。
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聲明：
“臥式碳化硅真空燒結爐” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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