一種法蘭密封連接裝置,包括第一法蘭、第二法蘭,第一法蘭與第二法蘭對接設置,在第一法蘭的一個端面上開設相互不連通的內側凹槽、外側凹槽、中間凹槽,中間凹槽的上端與第一法蘭的端面連通,中間凹槽的下端穿過第一法蘭,以與外界抽真空系統連通,本實用新型還提出一種采用法蘭密封連接的超高真空燒結爐,包括爐筒、爐蓋、法蘭密封連接裝置,本實用新型采用法蘭密封連接裝置實現爐筒與爐蓋之間的密封連接,內側凹槽及內部設置的密封圈形成一級密封結構,外側凹槽及內部設置的密封圈形成二級密封結構,中間凹槽抽真空形成三級密封結構,通過中間凹槽抽真空的設置,降低了密封圈對氣體的泄露風險。
聲明:
“法蘭密封連接裝置及超高真空燒結爐” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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