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高真空燒結爐

789   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:57:02
本實用新型涉及一種高真空燒結爐，包括爐體、風機、真空閥、抽氣泵和小機械泵。該真空閥包括主閥；該抽氣泵包括擴散泵、羅茨泵和滑閥泵。該風機、該爐體和該主閥通過管道依序連接。該擴散泵的進口與該主閥的第一出口通過管道連接，并且，該擴散泵、該羅茨泵和該滑閥泵通過管道依序連接。該小機械泵的進口通過管道與該擴散泵的出口連接。本實用新型的高真空燒結爐中的小機械泵防止了擴散泵、羅茨泵和滑閥泵在停止工作后擴散泵中的油蒸汽倒灌進入爐體內，保障了爐內燒結環境的純度，進而提高了高真空燒結爐的燒結質量。
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