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半導體加工的真空燒結裝置

1010   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:57:01
本發明提供了一種半導體加工的真空燒結裝置，包括安裝臺和鉸接安裝在所述安裝臺上的爐蓋，所述安裝臺中沿橫向從左至右依次設置有預熱部、真空燒結部和冷卻部；所述安裝臺的左側設置有進料機構，右側設置有出料機構，所述真空燒結裝置還包括輸送料盤在所述預熱部、真空燒結部和冷卻部之間移動的料盤轉運機構，通過依次設置的預熱部、真空燒結部和冷卻部，以完成流水線式連續的預熱、真空燒結和冷卻工作，工作周期短，效率高；同時通過支撐桿的方式來承托轉運料盤，實現了物料在各工位間的快速流轉和連續作業，相較于通過夾持裝置夾持料盤進行轉運的方式，有效的節約了各工位上方的空間結構簡單可靠，制造成本低。
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