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半導體真空燒結機構

1108   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:57:01
本實用新型提供了一種半導體真空燒結機構，包括爐體和鉸接安裝在所述爐體上的爐蓋，所述爐蓋可做蓋合或打開狀態的切換；還包括沿橫向從左至右依次設置的預熱部、真空燒結部和冷卻部，通過爐蓋與爐體的鉸接式結構設計，制造成本低，便于裝拆和爐體的維護，同時通過依次設置的預熱部、真空燒結部和冷卻部，以完成流水線式連續的預熱、真空燒結和冷卻工作，工作周期較短，制造成本較低，預熱部多個預熱模塊的設置可以根據工藝需求設置預熱溫度、升溫速度和升溫時間；真空燒結部中活動式罩殼的設置可以在真空燒結過程中與支撐臺形成具有一定負壓的空間進行燒結，并在真空燒結完成后遠離支撐臺以便進行物料的輸送。
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