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鑲嵌式濺射靶材

880   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:53:02
本實用新型涉及一種靶材，具體涉及一種鑲嵌式濺射靶材，包括基板，基板與冷卻背板相連，圓柱狀嵌體嵌入到基板和冷卻背板的內部，圓柱狀嵌體設置在基板上表面橫向中心線的一側，基板和冷卻背板上設置有臺階孔。本實用新型結構簡單，易于加工，節約材料，成本低，并可達到熔煉或粉末冶金靶材相同的濺射效果。
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“鑲嵌式濺射靶材” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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